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更新時間：2026-09-12 
瀏覽次數：221一、加熱原理
電流通入**電阻加熱元件**（電阻絲、硅碳棒、硅鉬棒），依靠**焦耳效應**將電能轉化為熱能。
熱量主要以**熱輻射**為主、熱對流為輔，傳遞給爐管，再加熱爐管內部的樣品；爐體外包裹高純保溫纖維，減少熱量散失，在爐管中間形成一段**溫度均勻的恒溫區**。
二、閉環溫控原理
熱電偶實時采集爐內溫度信號，傳給 PID 溫控儀表；儀表不斷對比**設定溫度**和**實測溫度**，自動調節輸出功率，從而精準控制升溫、恒溫、降溫。
可以設置多段程序工藝曲線，實現自動升溫保溫，具備超溫、斷偶等安全保護。
三、爐管腔體（氣氛 / 真空管式爐有）
爐管兩端采用密封法蘭，形成密閉腔體：
1. **氣氛模式**：通入氮氣、氬氣等保護氣體，維持微正壓，隔絕空氣，避免樣品高溫氧化；
2. **真空模式**：真空泵抽出爐管內空氣，得到負壓 / 高真空環境；也可多次抽真空 + 充氣置換，大幅降低管內氧含量，用于易氧化樣品。
四、樣品熱處理
樣品放置在爐管恒溫區內，在設定的**溫度 + 氣氛 / 真空環境**下，發生燒結、退火、煅燒、熱解、CVD 薄膜生長、固相反應等高溫處理。
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