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升溫快溫場均勻高溫管式爐為什么升溫快、溫場均勻

更新時間:2026-09-27      瀏覽次數:200

設計(為什么升溫快、溫場均勻)

1. **爐膛**:高純氧化鋁輕質纖維爐膛,蓄熱小,升溫響應快;多層梯度保溫,減少兩端散熱冷區

2. **加熱元件**:鐵鉻鋁高溫電阻絲**分段不等功率排布**,兩端功率加大,補償管口熱損失,保證恒溫區溫度均勻;單溫區可做到恒溫均勻度 ±2~3℃,雙溫區可達 ±1~2℃

3. **溫控系統**:宇電 / 多段 PID 智能儀表,30 段可編程,**抑制沖溫超調**,升溫快但不會過沖;控溫精度 ±1℃,可自定義升降溫曲線(金屬退火慢速降溫)

4. **爐體**:雙層風冷殼體,爐殼低溫;開啟式結構,方便換爐管(石英 / 剛玉任選)

5. **密封氣路**:KF 法蘭,可真空、通 N?/Ar 保護氣氛,用于金屬退火防氧化

 關鍵技術參數(1200℃單溫區,實驗室常用 Φ50/Φ60)

- 最高溫度:1200℃,長期連續≤1100℃

- **升溫速率**:0.1~20℃/min 可調(推薦工藝使用≤10℃/min;短時最高 20℃/min)

RTP 快速光加熱型:**秒級升溫,幾十℃/s**,適合薄膜快速退火,但價格高、樣品裝載量很小

- 恒溫區長度:150–300mm,**溫場均勻度 ±2~3℃**(四點測溫實測)

- 爐管:高純石英管 / 99.5 剛玉管(承接前面金屬退火選型)

- 真空:機械泵極限 10?3Pa,可升級分子泵

- 供電:Φ60 及以下 220V;大管徑 380V


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