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可通氣氛抽真空管式爐結(jié)構(gòu)

更新時(shí)間:2026-09-27      瀏覽次數(shù):135

結(jié)構(gòu)

1. **爐管**

- 石英管:≤1200℃,透明,易觀察樣品;

- 剛玉(氧化鋁)管:1400~1700℃,耐高溫,適合硅鉬棒高溫爐;

- 兩端**真空法蘭 + O 型圈密封**,集成進(jìn)氣、出氣、真空接口、壓力表 / 真空計(jì)。

2. **爐膛保溫**:氧化鋁陶瓷纖維,保溫好、升溫快、蓄熱小。

3. **加熱元件**

- 1200℃:電阻絲;

- 1400℃:硅碳棒;

- 1600~1700℃:硅鉬棒。

4. **溫控系統(tǒng)**:PID 程序溫控,多段升溫曲線(xiàn),控溫精度 ±1℃,升溫速率 0~20℃/min 可調(diào)。

可通氣氛抽真空管式爐結(jié)構(gòu)

5. **氣路真空系統(tǒng)**

- 真空:機(jī)械泵(低真空,幾十 Pa);需要高真空搭配分子泵;

- 氣路:質(zhì)量流量計(jì) MFC,多路供氣,可混氣;常用 Ar、N?惰性氣氛;部分型號(hào)支持 H?、NH?還原氣氛(需防爆)。

工藝模式

1. **真空熱處理**:直接抽真空,真空退火、脫氣、真空燒結(jié);

2. **洗氣置換**:抽真空 → 充保護(hù)氣 → 再抽真空,反復(fù)多次,把管內(nèi)氧氣降到極低;

3. **動(dòng)態(tài)氣氛**:持續(xù)通入氣體,保持微正壓流動(dòng)氣氛(CVD、氧化、還原);

4. **靜態(tài)氣氛**:抽真空后充入固定壓力氣氛,密閉保溫?zé)Y(jié)。

常用參數(shù)區(qū)間

- 最高溫:1200 /1400 /1600 /1700℃;

- 真空度:機(jī)械泵可達(dá) 10~100Pa;機(jī)械泵 + 分子泵可到 10?3~10??Pa;

- 爐管規(guī)格:Φ30、Φ50、Φ60、Φ80、Φ100mm 等,加熱區(qū)長(zhǎng)度可定制;

- 氣氛:惰性氣體 N?、Ar;可選還原性氣體(氫氣需定制防爆),**嚴(yán)禁空氣 + 氫氣混合高溫**。


  • 企業(yè)名稱(chēng):

    鄭州安晟科學(xué)儀器有限公司

  • 聯(lián)系電話(huà):

    18037316198

  • 公司地址:

    河南省鄭州上街區(qū)科學(xué)大道

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